Precision nano-fabrication and evaluation of a large area sinusoidal grid surface for a surface encoder

Wei Gao, Takeshi Araki, Satoshi Kiyono, Yuichi Okazaki, Masashi Yamanaka

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Precision nano-fabrication and evaluation of a large area sinusoidal grid surface for a surface encoder」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science