Precipitates caused in silicon wafers by prolonged high-temperature annealing in nitrogen atmosphere

Haruo Nakazawa, Masaaki Ogino, Hideaki Teranishi, Yoshikazu Takahashi, Hitoshi Habuka

研究成果: Conference article査読

フィンガープリント

「Precipitates caused in silicon wafers by prolonged high-temperature annealing in nitrogen atmosphere」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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