Polarization performance of EUV transmission multilayers as λ/4 and λ/2 plates at a photon energy of 97 eV

Masaki Yamamoto, Hiroshi Nomura, Mihiro Yanagihara, Minaji Furudate, Makoto Watanabe

研究成果: Article査読

9 被引用数 (Scopus)

抄録

Complex relative amplitude transmittance p = Tp/Ts of extreme ultraviolet transmission multilayers fabricated to three numbers of layers has been evaluated by ellipsometry with synchrotron radiation at a photon energy of 97 eV. Large phase shifts enough to be a quarter-wave plate and a half-wave plate have been observed with respective transmittances of 10 and 0.5%.

本文言語English
ページ(範囲)869-873
ページ数5
ジャーナルJournal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena
101-103
DOI
出版ステータスPublished - 1999

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 放射線
  • 原子分子物理学および光学
  • 凝縮系物理学
  • 分光学
  • 物理化学および理論化学

フィンガープリント

「Polarization performance of EUV transmission multilayers as λ/4 and λ/2 plates at a photon energy of 97 eV」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル