Plasma expansion from a radio frequency microdischarge

Rod Boswell, Christine Charles, Peter Alexander, James Dedrick, Kazunori Takahashi

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抄録

Plasma expansion of a capacitively coupled radio frequency (13.56 MHz) argon microdischarge into a larger glass tube is studied by acquisition and analysis of high-resolution digital images. The microdischarge operating conditions are a flow of about 1.5 L/min, a pressure of 7 torr, and a power of 10 W. Interesting plume patterns can be generated, and an example of plasma striations within the plume is shown.

本文言語English
論文番号5771122
ページ(範囲)2512-2513
ページ数2
ジャーナルIEEE Transactions on Plasma Science
39
11 PART 1
DOI
出版ステータスPublished - 2011 11月
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • 核物理学および高エネルギー物理学
  • 凝縮系物理学

フィンガープリント

「Plasma expansion from a radio frequency microdischarge」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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