Plane-view transmission electron microscopy of Si/GaAs interfaces fabricated by surface-activated bonding at room temperature

Yutaka Ohno, Hideto Yoshida, Seiji Takeda, Liang Jianbo, Naoteru Shigekawa

研究成果: Conference contribution

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Plane-view transmission electron microscopy of Si/GaAs interfaces fabricated by surface-activated bonding at room temperature」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science