Photodiodes Fabricated by Micromachining for Mechatronics

Kazuhiro Hane, Mimoru Sasaki

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)401-404
ページ数4
ジャーナルIEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
119
42591
DOI
出版ステータスPublished - 1999

ASJC Scopus subject areas

  • 機械工学
  • 電子工学および電気工学

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