Passivated piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror

Minora Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント 「Passivated piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science