Oxide thickness dependence of nitridation effects on TDDB characteristics

M. K. Mazumder, A. Teramoto, M. Katsumata, M. Sekine, S. Kawazu, H. Koyama

研究成果: Article査読

フィンガープリント

「Oxide thickness dependence of nitridation effects on TDDB characteristics」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

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Physics & Astronomy