Oxidation of Bonded Thin Ti Films Using Oxide Underlayers in Atomic Diffusion Bonding Process for Optical Applications

G. Yonezawa, Y. Sato, S. Abe, M. Uomoto, T. Shimatsu

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Oxidation of Bonded Thin Ti Films Using Oxide Underlayers in Atomic Diffusion Bonding Process for Optical Applications」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds