Outgassing study of thin films used for poly-SiGe based vacuum packaging of MEMS

B. Wang, S. Tanaka, B. Guo, G. Vereecke, S. Severi, A. Witvrouw, M. Wevers, I. De Wolf

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Outgassing study of thin films used for poly-SiGe based vacuum packaging of MEMS」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science