Outdiffusion And Subsequent Desorption Of Volatile Sio Molecules During Annealing Of Thick Si02 Films In Vacuum

Yuji Takakuwa, Mizuhisa Nihei, Nobuo Miyamoto

研究成果: Article査読

29 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Outdiffusion And Subsequent Desorption Of Volatile Sio Molecules During Annealing Of Thick Si02 Films In Vacuum」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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