On-line qualification of a micro probing system for precision length measurement of micro-features on precision parts

Yuan Liu Chen, So Ito, Hirotaka Kikuchi, Ryo Kobayashi, Yuki Shimizu, Wei Gao

研究成果: Article査読

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「On-line qualification of a micro probing system for precision length measurement of micro-features on precision parts」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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