NEW DEGRADATION PHENOMENA INDUCED BY ION-IMPLANTATION CHANNELING IN SHORT CHANNEL TRANSISTORS.

Akihiro Nitayama, Hiroshi Takato, Riichiro Shirota

研究成果: Conference contribution

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「NEW DEGRADATION PHENOMENA INDUCED BY ION-IMPLANTATION CHANNELING IN SHORT CHANNEL TRANSISTORS.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science