Nanoindentation hardness and elastic modulus of AlGaN alloys

Y. Tokumoto, H. Taneichi, Y. Ohno, K. Kutsukake, H. Miyake, K. Hiramatsu, I. Yonenaga

研究成果: Conference contribution

2 被引用数 (Scopus)

抄録

Nanoindentation hardness tests were conducted on various Al xGa1-xN alloys grown by metal-organic vapor-phase epitaxy. AlGaN alloys showed the hardness of 16.5-19.5 GPa strongly dependent on the alloy composition with a maximum at x∼0.5, while the Young's modulus was ∼ 300GPa, almost constant in the whole composition range investigated. The observed alloy hardening was confirmed under considering the effects of residual in-plane strain and threading dislocation densities.

本文言語English
ホスト出版物のタイトル2013 Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim, CLEO-PR 2013
DOI
出版ステータスPublished - 2013 10月 18
イベント10th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim, CLEO-PR 2013 - Kyoto, Japan
継続期間: 2013 6月 302013 7月 4

出版物シリーズ

名前Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest

Other

Other10th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim, CLEO-PR 2013
国/地域Japan
CityKyoto
Period13/6/3013/7/4

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 原子分子物理学および光学
  • 凝縮系物理学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Nanoindentation hardness and elastic modulus of AlGaN alloys」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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