Moderate temperature and high-speed synthesis of α-Al2O3 films by laser chemical vapor deposition using Nd:YAG laser

Hokuto Kadokura, Akihiko Ito, Teiichi Kimura, Takashi Goto

研究成果: Article査読

22 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Moderate temperature and high-speed synthesis of α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> films by laser chemical vapor deposition using Nd:YAG laser」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds