Miniaturized, highly sensitive single-chip multichannel quartz-crystal microbalance

Vu Ngoc Hung, Takashi Abe, Phan Ngoc Minh, Masayoshi Esashi

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抄録

A miniaturized highly sensitive single-chip multichannel quartz-crystal microbalance was presented. The fabrication of quartz resonators in a single-chip with the diameters in the range 0.05-1.0 mm and thickness in the range 18-82 μm was presented. Results showed the Q-factor value as high as ∼30000 in case of a 94 MHz resonator whose diameter was 1 mm and the thickness 17.8 μm.

本文言語English
ページ(範囲)5069-5071
ページ数3
ジャーナルApplied Physics Letters
81
26
DOI
出版ステータスPublished - 2002 12月 23
外部発表はい

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  • 物理学および天文学(その他)

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「Miniaturized, highly sensitive single-chip multichannel quartz-crystal microbalance」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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