Microstructure and tribological properties of SiOx/DLC films grown by PECVD

Won Jae Yang, Tohru Sekino, Kwang Bo Shim, Koichi Niihara, Keun Ho Auh

研究成果: Article査読

44 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Microstructure and tribological properties of SiO<sub>x</sub>/DLC films grown by PECVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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