Microstructure and preferred orientation of titanium nitride films prepared by laser CVD

Yansheng Gong, Rong Tu, Takashi Goto

研究成果: Article査読

20 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Microstructure and preferred orientation of titanium nitride films prepared by laser CVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Earth and Planetary Sciences

Chemistry

Material Science

Chemical Engineering

Agricultural and Biological Sciences