Microstructure and hardness of SiC-TiC nanocomposite thin films prepared by radiofrequency magnetron sputtering

Gaku Osugi, Akihiko Ito, Mikinori Hotta, Takashi Goto

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Microstructure and hardness of SiC-TiC nanocomposite thin films prepared by radiofrequency magnetron sputtering」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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