Micromachine/MEMS

Masayoshi Esashi

研究成果: Article査読

3 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)78-79
ページ数2
ジャーナルSeimitsu Kogaku Kaishi/Journal of the Japan Society for Precision Engineering
75
1
DOI
出版ステータスPublished - 2009 1

ASJC Scopus subject areas

  • Mechanical Engineering

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