Metastable surface layer of a silicon nitride thin film growing by photo-chemical vapor deposition

Toshimasa Wadayama, Wataru Suëtaka

研究成果: Article査読

7 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Metastable surface layer of a silicon nitride thin film growing by photo-chemical vapor deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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