Mechanical properties of sputtered Ti thin films (A TEM observation of microstructures of Ti thin films)

Hirofumi Ogawa, Shinji Kaneko, Kiyoteru Suzuki, Masumi Saka

研究成果: Article査読

フィンガープリント

「Mechanical properties of sputtered Ti thin films (A TEM observation of microstructures of Ti thin films)」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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