Magnetic micro-actuator

K. Yanagisawa, A. Tago, T. Ohkubo, H. Kuwano

研究成果: Conference contribution

27 被引用数 (Scopus)

抄録

The characteristics of three types of magnetic microactuators made by silicon-based microfabrication are described. The microfabrication, actuator configuration, and dynamic characteristics of a fabricated microactuator with a planar coil are examined. This microactuator is shown to operate in the nanometer range. It has a conical soft-magnetic tip 10 microns high with a one-turn copper coil. This actuator will be applied to microvalves, micropumps, and microsyringes.

本文言語English
ホスト出版物のタイトルProceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
出版社Publ by IEEE
ページ120-124
ページ数5
ISBN(印刷版)0879426411
出版ステータスPublished - 1991 1 1
外部発表はい
イベントProceedings of the 1991 IEEE Micro Electro Mechanical Systems - MEMS '91 - Nara, Jpn
継続期間: 1991 1 301991 2 2

出版物シリーズ

名前Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems

Other

OtherProceedings of the 1991 IEEE Micro Electro Mechanical Systems - MEMS '91
CityNara, Jpn
Period91/1/3091/2/2

ASJC Scopus subject areas

  • 制御およびシステム工学
  • 機械工学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Magnetic micro-actuator」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル