Low-temperature heteroepitaxial growth of 3C-SiC(111) on Si(110) substrate using monomethylsilane

Atsushi Konno, Yuzuru Narita, Takashi Ito, Kanji Yasui, Hideki Nakazawa, Tetsuo Endoh, Maki Suemitsu

研究成果: Conference article査読

16 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Low-temperature heteroepitaxial growth of 3C-SiC(111) on Si(110) substrate using monomethylsilane」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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