Low temperature formation of low resistivity W contact with ultra thin mixed layer on molecular layer epitaxially-grown GaAs

F. Matsumoto, J. I. Nishizawa, Y. Oyama, P. Plotka, Y. Oshida, K. Suto

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Low temperature formation of low resistivity W contact with ultra thin mixed layer on molecular layer epitaxially-grown GaAs」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds