Low temperature, beam-orientation-dependent, lattice-plane-independent, and damage-free oxidation for three-dimensional structure by neutral beam oxidation

Masahiro Yonemoto, Toru Ikoma, Keisuke Sano, Kazuhiko Endo, Takashi Matsukawa, Meishoku Masahara, Seiji Samukawa

研究成果: Article査読

17 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Low temperature, beam-orientation-dependent, lattice-plane-independent, and damage-free oxidation for three-dimensional structure by neutral beam oxidation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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