Low-leakage MIS structures with 1.5-6 nm CaF2 insulating layer on Si(1 1 1)

N. S. Sokolov, I. V. Grekhov, S. Ikeda, A. K. Kaveev, A. V. Krupin, K. Saiki, K. Tsutsui, S. E. Tyaginov, M. I. Vexler

研究成果: Article査読

9 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Low-leakage MIS structures with 1.5-6 nm CaF<sub>2</sub> insulating layer on Si(1 1 1)」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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