Low-dielectric-constant nonporous fluorocarbon films for interlayer dielectric

Azumi Itoh, Atsutoshi Inokuchi, Seiji Yasuda, Akinobu Teramoto, Tetsuya Goto, Masaki Hirayama, Tadahiro Ohmi

研究成果: Article査読

19 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Low-dielectric-constant nonporous fluorocarbon films for interlayer dielectric」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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