Interface and electrical properties of Tm2O3 gate dielectrics for gate oxide scaling in MOS devices

M. Kouda, T. Kawanago, P. Ahmet, K. Natori, T. Hattori, H. Iwai, K. Kakushima, A. Nishiyama, N. Sugii, K. Tsutsui

研究成果: Article査読

22 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Interface and electrical properties of Tm2O3 gate dielectrics for gate oxide scaling in MOS devices」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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