Initial stage of sputtering in silicon oxide

Takeo Hattori, Yukimoto Hisajima, Hiroyuki Saito, Toshihisa Suzuki, Hiroshi Daimon, Yoshitada Murata, Masaru Tsukada

    研究成果: Article査読

    14 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Initial stage of sputtering in silicon oxide」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Physics

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