Influence of moisture on the CVD formation of a MnOx barrier layer

K. Neishi, K. Matsumoto, H. Sato, H. Itoh, S. Hosaka, Junichi Koike

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Influence of moisture on the CVD formation of a MnOx barrier layer」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Biochemistry, Genetics and Molecular Biology