Influence of initial amorphous layer deposition temperature on lateral solid-phase epitaxy of silicon

Masahiro Moniwa, Hideki Hasegawa

    研究成果: Article査読

    2 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Influence of initial amorphous layer deposition temperature on lateral solid-phase epitaxy of silicon」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science

    Physics & Astronomy