Increase of Ar+ ion density in argon RF magnetron discharges caused by the addition of a small amount of oxygen

Shigeru Yonemura, Kenichi Nanbu

研究成果: Article査読

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フィンガープリント 「Increase of Ar<sup>+</sup> ion density in argon RF magnetron discharges caused by the addition of a small amount of oxygen」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy