In-situ studies of multicrystalline silicon nucleation and growth on α- and β-Si3N4 coated substrates

Espen Undheim, Kensaku Maeda, Lars Arnberg, Randi Holmestad, Kozo Fujiwara, Marisa Di Sabatino

研究成果: Article査読

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「In-situ studies of multicrystalline silicon nucleation and growth on α- and β-Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub> coated substrates」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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