In-situ observation of electromigration failure in AlCuSi interconnects with a passivation film

Takenao Nemoto, Takeshi Nogami, A. Toshimitsu Yokobori, Tsutomu Murakawa

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「In-situ observation of electromigration failure in AlCuSi interconnects with a passivation film」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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