Improvement of zone control induction heating equipment for high-speed processing of semiconductor

Daisuke Miyagi, A. Saitoh, N. Takahashi, N. Uchidir, K. Ozaki

研究成果: Conference contribution

本文言語English
ホスト出版物のタイトルINTERMAG ASIA 2005
ホスト出版物のサブタイトルDigests of the IEEE International Magnetics Conference
ページ数1
出版ステータスPublished - 2005 12 12
イベントINTERMAG ASIA 2005: Digests of the IEEE International Magnetics Conference - Nagoya, Japan
継続期間: 2005 4 42005 4 8

出版物シリーズ

名前INTERMAG ASIA 2005: Digests of the IEEE International Magnetics Conference

Other

OtherINTERMAG ASIA 2005: Digests of the IEEE International Magnetics Conference
CountryJapan
CityNagoya
Period05/4/405/4/8

ASJC Scopus subject areas

  • Engineering(all)

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