Improvement of thermal conductivity of electroplated copper interconnections by controlling their crystallinity

Masaru Gotoh, Ken Suzuki, Hideo Miura

研究成果: Conference contribution

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Improvement of thermal conductivity of electroplated copper interconnections by controlling their crystallinity」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds