Improvement of the electrical properties of PECVD silicon oxide using high-density and low-ion-energy plasma post-treatment

Chuan Jie Zhong, Hiroaki Tanaka, Shigetoshi Sugawa, Tadahiro Ohmi

研究成果: Article査読

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Improvement of the electrical properties of PECVD silicon oxide using high-density and low-ion-energy plasma post-treatment」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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