Improvement of barrier anodic oxide Al2O3 passivation of aluminum alloy for LSI/FPD plasma process equipment

Minoru Tahara, Yasuhiro Kawase, Masafumi Kitano, Fumikazu Mizutani, Yasuyuki Shirai, Tadahiro Ohmi

研究成果: Conference article査読

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フィンガープリント

「Improvement of barrier anodic oxide Al2O3 passivation of aluminum alloy for LSI/FPD plasma process equipment」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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