Impact of high-temperature annealing of AlN layer on sapphire and its thermodynamic principle

Hiroyuki Fukuyama, Hideto Miyake, Gou Nishio, Shuhei Suzuki, Kazumasa Hiramatsu

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Impact of high-temperature annealing of AlN layer on sapphire and its thermodynamic principle」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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