Hydrogenated amorphous carbon films deposited by low-frequency plasma chemical vapor deposition at room temperature

M. Shimozuma, G. Tochitani, H. Ohno, H. Tagashira, J. Nakahara

研究成果: Article査読

18 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Hydrogenated amorphous carbon films deposited by low-frequency plasma chemical vapor deposition at room temperature」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy