Hydrogen effect on near-atmospheric nitrogen plasma assisted chemical vapor deposition of GaN film growth

T. Nagata, M. Haemori, Y. Sakuma, T. Chikyow, J. Anzai, T. Uehara

研究成果: Article査読

7 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Hydrogen effect on near-atmospheric nitrogen plasma assisted chemical vapor deposition of GaN film growth」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy