Hybrid isolation process with deep diffusion and V-groove for reverse blocking IGBTs

Haruo Nakazawa, Masaaki Ogino, Hiroki Wakimoto, Tsunehiro Nakajima, Yoshikazu Takahashi, David Hongfei Lu

研究成果: Conference contribution

16 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Hybrid isolation process with deep diffusion and V-groove for reverse blocking IGBTs」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science