High-speed deposition of oriented TiNx films by laser metal-organic chemical vapor deposition

Yan Sheng Gong, Rong Tu, Takashi Goto

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フィンガープリント

「High-speed deposition of oriented TiNx films by laser metal-organic chemical vapor deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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