High-speed deposition of dense, dendritic and porous SiO2 films by Nd: YAG laser chemical vapor deposition

Jun Endo, Akihiko Ito, Teiichi Kimura, Takashi Goto

研究成果: Article査読

12 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「High-speed deposition of dense, dendritic and porous SiO2 films by Nd: YAG laser chemical vapor deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Chemical Compounds