High-rate directional deep dry etching for bulk silicon micromachining

Masayoshi Esashi, Masao Takinami, Yuji Wakabayashi, Kazuyuki Minami

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「High-rate directional deep dry etching for bulk silicon micromachining」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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