High-quality germanium dioxide thin films with low interface state density using a direct neutral beam oxidation process

Akira Wada, Rui Zhang, Shinichi Takagi, Seiji Samukawa

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「High-quality germanium dioxide thin films with low interface state density using a direct neutral beam oxidation process」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy