High performance bottom gate μc-Si TFT fabricated by low damage, high density plasma source

A. Hiroe, M. Hirayama, Y. Shirai, A. Teramoto, T. Ohmi

研究成果: Paper査読

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フィンガープリント

「High performance bottom gate μc-Si TFT fabricated by low damage, high density plasma source」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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