High-density nanoetchpit-array fabrication on Si surface using ultrathin SiO2 mask

Meishoku Koh, Souichi Sawara, Tomomi Goto, Yoshinori Ando, Takahiro Shinada, Iwao Ohdomari

研究成果: Article査読

19 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「High-density nanoetchpit-array fabrication on Si surface using ultrathin SiO<sub>2</sub> mask」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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