High density electrical feedthrough fabricated by deep reactive ion etching of Pyrex glass

X. Li, T. Abe, Y. Liu, M. Esashi

研究成果: Paper査読

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フィンガープリント

「High density electrical feedthrough fabricated by deep reactive ion etching of Pyrex glass」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science